Рассмотрим однородно легированный электронный полупроводник с омическими контактами, к которому приложена разность потенциалов (рис. 8.6). Создаваемое в нем электрическое поле будет E = EП. Пусть вследствие тепловой флуктуации группа электронов сместилась в сторону катода относительно неподвижных ионизованных доноров.
Возникшая избыточная концентрация электронов должна изменяться во времени в соответствии с соотношением:
,(8.13)
представляющим собой закон релаксации основных носителей заряда в полупроводнике.
Если бы в возникшем дипольном домене напряженность электрического поля была меньше EП, то время релаксации Максвелла было бы равно:
.(8.14)
Рис. 8.6. Распределение объемного заряда и напряженности поля в образце при формировании домена сильного поля
На самом деле в области возникшего объемного заряда напряженность поля увеличится и станет больше EП. Следовательно, в выражении для τМ положительную удельную проводимость нужно заменить на удельную отрицательную дифференциальную проводимость , где – отрицательная дифференциальная подвижность, соответствующая участку вольт-амперной характеристики с отрицательной дифференциальной проводимостью. Таким образом,
.(8.15)
Из формул для Δn(t) и τМ следует, что в образце с отрицательной дифференциальной проводимостью первоначальная тепловая флуктуация концентрации электронов должна не убывать с ростом t, а увеличиваться, так как .
Этот факт объясняется следующими обстоятельствами. В области дипольного объемного заряда напряженность электрического поля возрастет и станет больше порогового значения, а в остальной части образца E слегка уменьшится и станет меньше EП, так как напряжение, подаваемое на образец, поддерживается постоянным. В результате этого дрейфовая скорость электронов и плотность тока в области существования объемного заряда уменьшатся, а в остальной части образца изменятся незначительно. Это приведет к дальнейшему увеличению концентрации электронов в левой части объемного заряда (за счет их подтока от катода) и концентрации нескомпенсированных доноров в правой части за счет ухода быстрых электронов от правой границы к аноду. Этот процесс прекратится и дипольный слой достигнет стабильной конфигурации, когда плотность тока внутри и вне его станет одинаковой и будет соответствовать точкам вольт‑амперной характеристики, лежащим вне участка отрицательной дифференциальной проводимости (например, точкам E = EВ и E = EД) (рис. 8.7).
Рис. 8.7. ВАХ диода Ганна [5, 32]
Спад силы тока в цепи при формировании домена сильного поля обусловлен резким уменьшением подвижности электронов в нем и, следовательно, увеличением сопротивления образца. Наиболее стабильное состояние домена соответствует минимальной мощности, потребляемой образцом от источника питания, т.е. когда плотность тока в образце имеет наименьшее возможное значение – Jmin. Тогда максимальная напряженность поля внутри домена сильного поля будет равняться EД, а вне его – EВ. Ширину или толщину домена (dД.М.) можно оценить исходя из того, что падение напряжения на образце до и после образования домена одно и то же, т.е.
,(8.16)
где исходная напряженность поля EИ = EП,
W – длина образца.
.(8.17)
Распределение напряженности электрического поля в домене зависит от концентрации электронов в данном образце. При больших n0 максимум E располагается в центре домена и зависимость E от x имеет симметричный вид. Если n0 мало, то кривая принимает форму, близкую к прямоугольному треугольнику.
В процессе формирования и после его окончания дипольный домен дрейфует от катода к аноду. Если предположить, что домен возникает у катода за счет неоднородности в распределении примеси, то за время пролета
,(8.18)
где – средняя скорость дрейфа домена, домен достигнет анода и исчезнет. После этого в образце восстановится однородное распределение поля и первоначальное (до формирования домена) значение тока. Затем за счет тепловой флуктуации у катода начнет формироваться следующий домен и т.д. Периодически повторяющиеся процессы формирования домена у катода и рассасывания его у анода приведут к соответствующему изменению сопротивления образца и силы тока.
Для того, чтобы первоначальная тепловая флуктуация концентрации электронов заметно возросла, необходим интервал времени, превосходящий τМ. Следовательно, периодическое изменение силы тока через образец будет возникать лишь в том случае, когда или
.(8.19)
Это неравенство называют критерием Кремера [5, 32].
Для арсенида галлия и фосфида индия см-2.
Режим работы диода Ганна на эффекте междолинного перехода электронов, при котором выполняется неравенство
см-2,(8.20)
называется пролетным режимом. Для его реализации необходимо включить диод в параллельную резонансную цепь, например, в СВЧ‑генератор с высокой добротностью, настроенный на пролетную частоту ( ). В пролетном режиме на кривой зависимости тока от времени будут наблюдаться резкие всплески, если длина образца значительно превышает ширину домена (рис. 8.8). Для получения формы колебаний тока, близкой к синусоидальной, необходимо уменьшать длину образца или увеличивать ширину домена. Ширину домена можно увеличить, уменьшая концентрацию электронов (n0) в образце.
Рис. 8.8. Зависимость тока от времени при работе диода Ганна в пролетном режиме
При работе диода в резонаторе к нему кроме постоянного внешнего смещения оказывается приложенным также СВЧ‑поле, возникающее в резонаторе за счет колебаний тока, протекающего через диод. Предположим, что СВЧ‑поле меняется во времени по гармоническому закону, а резонатор настроен на частоту выше пролетной ( ). Тогда при достаточно большой амплитуде СВЧ-поля дипольный домен в образце может рассосаться, не доходя до анода. Для этого необходимо, чтобы в полупериод, когда векторы напряженности постоянного и СВЧ-поля противоположны, суммарная напряженность поля была бы меньше EП, а длительность полупериода была бы больше τМ, соответствующего положительной подвижности. С точностью до численного коэффициента последнее условие можно записать так: , или .(8.21)
Для GaAs и InP с/см3. Полученное неравенство является условием реализации режима работы диода с подавлением домена. В этом режиме в каждый «положительный» полупериод СВЧ‑поля в диоде E > EП и у катода зарождается домен, а в каждый «отрицательный» полупериод он рассасывается на пути к аноду. Таким образом, генерация переменного тока в этом случае происходит на частоте, определяемой параметрами резонансной цепи.
Если обеспечить одновременное выполнение двух неравенств:
,(8.22)
то диод Ганна будет работать в режиме ограниченного накопления объемного заряда (ОНОЗ). Для GaAs и InP с/см3. Поскольку в полученном неравенстве период СВЧ‑сигнала меньше τМ, соответствующего отрицательной дифференциальной подвижности, то в полупериод, когда E > EП, домен сильного поля не успевает полностью сформироваться, а в следующий полупериод (E < EП) он полностью рассасывается. При этом будет наблюдаться возрастание сопротивления образца в один полупериод СВЧ‑сигнала и спад его в другой, что вызывает эффективную генерацию мощности на частоте, определяемой параметрами внешней цепи.
8.5. Генерация СВЧ‑колебаний в диодах Ганна
Как любой генератор СВЧ‑диапазона, генератор Ганна характеризуется генерируемой мощностью, длиной волны, или частотой генерируемых колебаний, коэффициентом полезного действия, уровнем шумов и другими параметрами.
Выходная непрерывная мощность генераторов Ганна в пролетном режиме обычно составляет десятки – сотни милливатт, а при импульсной работе достигает сотен ватт.
Рабочая частота в пролетном режиме обратно пропорциональна длине или толщине высокоомной части кристалла ( ). Связь между генерируемой мощностью и частотой можно представить в виде:
. (8.23)
Мощность генерируемых СВЧ-колебаний зависит от полного сопротивления z или от площади рабочей части высокоомного слоя полупроводника. Приведенное соотношение указывает на то, что ожидаемое изменение мощности с частотой пропорционально .
Верхний предел рабочей частоты диодов Ганна составляет сотни гигагерц (рис. 8.10). Генераторы Ганна из арсенида галлия могут генерировать СВЧ-колебания от 1 до 50 ГГц. Несколько бóльшие частоты получены на генераторах Ганна из фосфида индия в связи с бóльшими значениями максимальных скоростей электронов, но качество приборов из этого материала значительно ниже из-за недостаточной отработки технологии изготовления материала. Преимущество фосфида индия перед арсенидом галлия – большее значение пороговой напряженности электрического поля (10,5 и 3,2 кВ/см соответственно). Это должно позволить создать генератор Ганна с бóльшей выходной мощностью. Для создания бóльших частот генерируемых колебаний представляют интерес тройные соединения GaInSb, так как в них велики дрейфовые скорости электронов.
Рис. 8.10. Примеры характеристик диодов Ганна [33, 35]
Эффект Ганна наблюдается, помимо GaAs и InP, в электронных полупроводниках CdTe, ZnS, InSb, InAs и др., а также в Ge с дырочной проводимостью.
Коэффициент полезного действия генераторов Ганна может быть различным (от 1 до 30 %), так как технологии изготовления приборов и качество исходного полупроводникового материала существенно различаются.
В связи с возможным наличием в кристалле генератора Ганна нескольких неоднородностей зарождение домена может происходить в различные моменты времени на разном расстоянии от анода. Поэтому частота колебаний будет изменяться, т.е. могут возникать частотные шумы. Кроме частотных шумов в генераторах Ганна существуют амплитудные шумы, основной причиной появления которых являются флуктуации в скоростях движения электронов. Обычно амплитудные шумы в генераторах Ганна малы, так как дрейфовая скорость в сильных электрических полях, существующих в этих приборах, насыщена и слабо изменяется при изменении электрического поля.
Важным для практического применения генераторов Ганна является вопрос о возможности их частотной перестройки в достаточно широком диапазоне. Из принципа действия генератора Ганна ясно, что частота его должна слабо зависеть от приложенного напряжения. С увеличением приложенного напряжения несколько возрастает толщина домена, а скорость его движения изменяется незначительно. В результате при изменении напряжения от порогового до пробивного частота колебаний увеличивается всего на десятые доли процента.
Срок службы генераторов Ганна относительно мал, что связано с одновременным воздействием на кристалл полупроводника таких факторов, как сильное электрическое поле и перегрев кристалла из-за выделяющейся в нем мощности.
1. Конструкция, принцип действия МДП-транзисторов.
Физической основой работы полевого транзистора со структурой металл - диэлектрик - полупроводник является эффект поля. Эффект поля состоит в том, что под действием внешнего электрического поля изменяется концентрация свободных носителей заряда в приповерхностной области полупроводника. В полевых приборах со структурой МДП внешнее поле обусловлено приложенным напряжением на металлический электрод - затвор. В зависимости от знака и величины приложенного напряжения присутствуют четыре состояния области пространственного заряда (ОПЗ) полупроводника - обогащение, обеднение, слабая и сильная инверсия. Полевые транзисторы в активном режиме могут работать только в области слабой или сильной инверсии, т.е. в том случае, когда инверсионный канал между истоком и стоком отделен от объема подложки слоем обеднения. На рисунке приведена топология МДП-транзистора, где этот факт наглядно виден.
Полевой транзистор со структурой металл - диэлектрик - полупроводник
В области инверсии концентрация неосновных носителей заряда в канале выше, чем концентрация основных носителей в объеме полупроводника. Изменяя величину напряжения на затворе, можно менять концентрацию свободных носителей в инверсионном канале и тем самым модулировать сопротивление канала. Источник напряжения в стоковой цепи вызовет изменяющийся в соответствии с изменением сопротивления канала ток стока и тем самым будет реализован эффект усиления. Таким образом, МДП-транзистор является сопротивлением, регулируемым внешним напряжением.
2. ВАХ МДП-транзистора в режиме плавного канала.
Рассм. пол. транз. со структурой МДП, схема кот. приведена на рис. 6.2. Коор. z направлена вглубь п/п, y - вдоль по длине канала и х - по ширине кан.. Получим ВАХ такого транз.
Рис. 6.2. Схема МДП-транзистора
Ток в канале МДП-транз., изготовленного на подложке р-типа, обусловлен свободными эл., концентрация которых n(z). Электр. поле Еу обусловлено напряж. между истоком и стоком VDS. Согласно закону Ома, плотность тока
(6.1)
где q - заряд электрона, μn - подвижность электронов в канале, V - падение напр. от истока до точки канала с корд. (x, y, z).
Проинтегрируем (6.1) по ширине (x) и глубине (z) канала. Тогда интеграл в левой части (6.1) дает нам полный ток канала IDS, а для правой части получим:
(6.2)
Вел. - полный заряд эл. в кан. на ед. площ. . Тогда (6.3)
Найдем величину заряда электронов Qn. Для этого запишем уравнение электронейтральности для зарядов в МДП-транзисторе на единицу площади в виде:
(6.4)
Согласно (6.4) заряд на металлическом электроде Qm уравновешивается суммой зарядов свободных электронов Qn и ионизованных акцепторов QB в полупроводнике и встроенного заряда в окисле Qox. На рисунке 6.3 приведена схема расположения этих зарядов. Из определения геометрической емкости окисла Сox следует, что полный заряд на металлической обкладке МДП-конденсатора Qm равен:
(6.5)
где Vox - падение напряжения на окисном слое, Сox - удельная емкость подзатворного диэлектрика.
Поскольку падение напряжения в окисле равно Vox, в полупроводнике равно поверхностному потенциалу ψs, а полное приложенное к затвору напряжение VGS, то
где Δφms - разность работ выхода металл - полупроводник, ψs0 - величина поверхностного потенциала в равновесных условиях, т.е. при напряжении стока VDS = 0.
Рис. 6.3. Расположение зарядов в МДП-транзисторе
Из (6.4), (6.5) и (6.6) следует:
(6.7)
Поскольку в области сильной инверсии при значительном изменении напряжения на затворе VGS величина поверхностного потенциала меняется слабо, будем в дальнейшем считать ее постоянной и равной потенциалу начала области сильной инверсии ψs0 = 2φ0. Поэтому будем также считать, что заряд акцепторов QB не зависит от поверхностного потенциала. Введем пороговое напряжение VТ как напряжение на затворе VGS, соответствующее открытию канала в равновесных условиях: VT ≡ VGS (ψs = 2φ0, VDS = 0).ьПри этом Qn(VDS = 0) = 0.
Из (6.7) следует, что
(6.8)
Тогда с учетом (6.8)
(6.9)
Подставляя (6.9) в (6.3), разделяя переменные и проведя интегрирование вдоль канала при изменении y от 0 до L, а V(y) от 0 до VDS, получаем:
(6.10)
Ур. (6.10) описывает ВАХ пол. транз.а в области плавного канала.
3. ВАХ МДП-транзистора в области отсечки.
Как следует из уравнения , по мере роста напряжения исток сток VDS в канале может наступить такой момент, когда произойдет смыкание канала, т.е. заряд эл. в канале в некоторой точке станет равным нулю. Это соот. условию:
(6.11)
Поскольку максимальная величина напряжения V(y) реализуется на стоке, то смыкание канала, или отсечка, произойдет у стока. Напряжение стока VDS, необходимое для смыкания канала, называется напряжением отсечки VDS*.
Рис. 6.4. Зависимость тока стока IDS от напряжения на стоке VDS для МОП ПТ при различных напряжениях на затворе.
Величина напряжения отсечки определяется соотношением (6.11). На рисунке 6.4 показаны оба состояния - состояние плавного канала и отсеченного кан. С ростом напр. стока VDS точка канала, соответствующая условию отсечки (6.11), сдвигается от стока к истоку. В первом приближении при этом на участке плавного канала от истока до точки отсечки падает одинаковое напряжение VDS* = VGS - VT, не зависящее от напряжения исток сток. Эффективная длина плавного канала L' от истока до точки отсечки слабо отличается от истинной длины канала L и обычно ΔL = L - L'. Это обуславливает в области отсечки в первом приближении ток стока IDS, не зависящий от напряжения стока VDS. Подставив значение напряжения отсечки VDS* из (6.11) в (6.10) вместо значения напряжения стока VDS, получаем для области отсечки выражение для тока стока:
(6.12)
Соотношение (6.12) представляет собой запись ВАХ МДП-транзистора в области отсечки. Зависимости тока стока IDS от напряжения на затворе VGS называются обычно переходными характеристиками (рис. 6.5), а зависимости тока стока IDS от напр. на стоке VDS - проходными хар-ками транз.
4. Эффект модуляции длины канала.
При значительных величинах напряжения исток-сток и относительно коротких каналах (L = 10÷20 мкм) в области отсечки наблюдается эффект модуляции длины канала. При этом точка отсечки смещается к истоку и напряжение отсечки VDS* падает на меньшую длину L' канала. Это вызовет увеличение тока IDS канала. Величина напряжения ΔV, падающая на участке ΔL от стока отсечки, будет равна:
(6.13)
Поскольку напряжение ΔV падает на обратносмещенном p-n+ переходе, его ширина ΔL будет равна:
(6.14)
Ток канала равен IDS0, когда напряжение исток-сток VDS = VDS* = VGS - VT равно напряжению отсечки и величина ΔL = 0. Обозначим IDS ток стока при большем напряжении стока: VDS > VDS*. Тогда
(6.15)
Следовательно, ВAX МДП-транзистора с учетом модуляции длины канала примет следующий вид:
(6.16)
Рис. 6.5. Зависимость тока стока IDS от напряжения на затворе VGS в области плавного канала при VDS = 0,1 B - кривая 1; зависимость корня из тока стока IDS1/2 от напряжения на затворе в области отсечки - кривая 2
Эффект модуляции длины канала оказывает большое влияние на проходные характеристики МДП-транзистора с предельно малыми геометрическими размерами.