Расходомеры этого типа используются при работе с турбулентными потоками. Их области применения: мониторинг окружающей среды, метеорология, гидрология, морские исследования, где требуется определение скорости потоков воздуха или воды, а также их турбулентности в зоне, расположенной рядом с поверхностью [11]. В структуру таких расходомеров всегда входит твердое тело, часто называемое мишенью, которое вводится в поток изучаемой среды. При этом измеряется сила, действующая на тело в потоке жидкой среды. Полученное значение преобразуется в величину скорости потока. Важным достоинством таких датчиков является возможность проведения измерений расхода и скорости потока в двух, а то и в трех направлениях. Для проведения многомерных исследований необходимо обеспечить симметричность мишени во всех направлениях измерений. Уже почти в течение полувека такие многомерные расходомеры используются в промышленности, в коммунальной сфере, в аэрокосмических и других исследовательских лабораториях для измерения расхода однонаправленных и двунаправленных потоков жидкостей (включая криогенные), газов, паров (как насыщенных, так и перегретых).
Рис. 11.18. Расходомер с мишенью
Принцип действия таких датчиков основан на измерении механического напряжения эластичного резинового троса, вызванного силой, приложенной к мишени, прикрепленной к нему (рис. 11.18). Идеальной мишенью является плоский диск [12], поскольку величина расхода не влияет на его коэффициент уноса. Для сферической симметричной мишени коэффициент уноса зависит от скорости потока, поэтому при использовании такой мишени датчик необходимо калибровать и оптимизировать для каждого конкретного случая применения. Измерения механического напряжения можно выполнять при помощи тензодатчиков, но при этом им надо обеспечить физическую защиту от влияния жидкой среды. Сила, действующая на мишень в потоке несжимаемой жидкости, определяется выражением:
(11.28)
где r — плотность жидкости, V— скорость потока в точке измерения, А — площадь проекции тела на плоскость, перпендикулярную потоку, CD — коэффициент уноса, являющийся безразмерным коэффициентом, величина которого зависит в основном от формы тела и его ориентации относительно направления потока. Пренебрегая массой троса, величину его деформации, вызванную действием силы на мишень, можно выразить в виде:
(11.29)
где L — длина троса, х — координата расположения тензодатчиков, Е— модуль Юнга, а и b — геометрические коэффициенты мишени. Из выражения (11.29) видно, что напряжение троса и скорость потока связаны квадратичной зависимостью.
Литература
1 В enedict, R P Fundamentals of Temperature, Pressure, and Flow Measurements, 3rd ed John Wiley & Sons, New York, 1984
2 Kmg, LV On the convention of heat from small cylinders ma stream of fluid Phil Trans Roy Soc A214, 373, 1914
3 Colhs, D С and Williams, M J Two-dimensional convection from heated wires at low Reynolds' numbers 7 Fluid Mech 6, 357, 1959
4 Gessner, U The performance of the ultrasonic flowmeter in complex velocity profiles IEEE Trans Вю-Med Eng MBE-16, 139-142, 1969
5 Cobbold, R S С Transducers/or Biomedical Measurements John Wiley & Sons, New York, 1974
6 Van Herwaarden, AW and Sarro, PM Thermal sensors based on the Seebeck effect Sensors Actuators 10,321-346, 1986
7 Wachutka, G, Lenggenhager, R , Moser, D, and Baltes, H Analytical 2D-model of CMOS micromachined gas flow sensors In Transducers'91 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators Digest of Technical Papers IEEE, New York, 1991
8 Esashi, M Micro flow sensor and integrated magnetic oxygen sensor using it In
Transducers'91 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators Digest of Technical Papers IEEE, New York, 1991
9 Cho, S T and Wise, К D A high performance microflowmeter with built-in self test In Transducers'91 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators Digest of Technical Papers, IEEE, New York, 1991, pp 400л03 10 Yoder, J Conolis Effect Mass Flowmeters
In Mechanical Variables Measurement, J Webster, ed CRC Press, Boca Raton, FL, 2000
11 Phihp-Chandy, R , Morgan,Rand Scully, PJ Drag force flowmeters In Mechanical Variables Measurement, J Webster, ed CRC Press, Boca Raton, FL, 2000
12 Clarke T Design and operation of target flowmeters In Encyclopedia of Fluid Mechanics, Vol 1 Gulf Publishing, Houston, TX, 1986
ГЛАВА 12
АКУСТИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ
«Твои уши всегда тебе указывают правильное направление, но ты всегда должен знать, зачем тебе туда надо»
Антон Ван Вебер
В разделе 3.10 главы 3 приведены основные законы акустики. В этой главе будут рассмотрены акустические датчики, работающие в разных частотных диапазонах. Датчики, работающие в слышимом диапазоне, обычно называются микрофонами. Однако это название может употребляться и для детекторов ультразвуковых и инфразвуковых волн. По существу, микрофон является датчиком давления, приспособленным для преобразования звуковых волн в широком спектральном диапазоне, из которого обычно исключены очень низкие частоты (ниже нескольких герц). Микрофоны обычно характеризуются: чувствительностью, направленностью, полосой частот, динамическим диапазоном, размерами, стоимостью и т.д Для работы в разных средах используются различные конструкции акустических датчиков. Например для детектирования волн в воздухе или вибраций в твердых телах применяются микрофоны, а для работы в жидкой среде — гидрофоны (приставка «гидро» произошла от греческого названия мифологической водяной змеи Гидры). Основное отличие между обычным датчиком давления и акустическим преобразователем заключается в том, что последнему не приходится измерять постоянное или очень медленно меняющееся давление. Его рабочий частотный диапазон начинается с нескольких герц (иногда с десятков миллигерц), а заканчивается в районе нескольких мегагерц для ультразвуковых датчиков, и даже нескольких гигагерц для устройств, реализованных на поверхностных акустических волнах (ПАВ).
Поскольку акустические волны являются механическими волнами, любой микрофон или гидрофон имеет ту же основную структуру, что и датчик давления: в его состав входит диафрагма и преобразователь перемещений, преобразующий отклонение диафрагмы в электрический сигнал. Поэтому все акустические преобразователи отличаются только конструкцией этих двух компонентов. Хотя некоторые из них могут также включать дополнительные компоненты, такие как звукопоглотители, фокусирующие отражатели или линзы и т.д. Однако в этой главе будут рассмотрены только чувствительные элементы некоторых наиболее интересных акустических датчиков.
Резистивные микрофоны
В прошлом резистивные преобразователи давления довольно широко применялись в составе микрофонов. Такие преобразователи состояли из полупроводникового порошка (обычно графита), объемное удельное сопротивление которого менялось в зависимости от величины приложенного давления. (В настоящее время, описывая принцип действия резистивных микрофонов, мы бы написали, что графит обладает пьезорезистивными свойствами.) Такие устройства обладали очень ограниченным динамическим диапазоном, плохими частотными характеристиками и высоким уровнем шума. Сейчас в некоторых микродатчиках также используется пьзо-резистивный принцип преобразования. Например, в датчиках, описанных в разделе 10.5 главы 10, пьезорезисторы, чувствительные к механическому напряжению, являются составной частью кремниевой диафрагмы.