Высоковакуумный насос выбирается по заданной величине минимального давления рмин , получаемого при откачке системы.
Из справочника выбираем тип насоса с подходящими параметрами:
- номинальная быстрота действия, м3/с;
- диаметр входного патрубка, мм;
- наибольшее рабочее давление, Па;
- наибольшее давление запуска, Па;
- предельное давление, Па.
Условием стационарного режима работы вакуумной установки является равенство эффективной быстроты откачивающего действия насоса Sэф и быстроты газовыделения SQ внутри вакуумной камеры: Sэф = SQ.
1. Быстроту газовыделения можно определить по формуле
SQ = Q/p1, (15)
где р1 – рабочее давление на входе в высоковакуумный насос.
Таким образом, в стационарном режиме работы для нахождения эффективной быстроты откачки насоса в вакуумной камере можно воспользоваться формулой
Sэф1 = Q/р1.
(Далее см. - §9.10, §10.1 – Пример проектировочного расчета вакуумной системы в стационарном режиме работы. Л.Н.Розанов Вакуумная техника.- Высш.шк. 1990. 320с.: ил. Стр222 – 231)
Находим номинальную быстроту действия насоса
Быстрота откачки первого насоса
; (17)
Выбор коэффициента использования насосов
Таблица 7. Средние значения коэффициентов использования насосов
в различных типах вакуумных машин и установок
Типы установок
Значения коэффициентов
Ки1
Ки2
Автоматы откачки
электровакуумных приборов
0,05 – 0,001
0,1 ...0,2
Откачные посты для откачки электровакуумных приборов
0,1 - 0,2
0,8 ... 0,9
Установки камерной откачки электровакуумных приборов
0,8 – 0,9
0,8... 0,9
Напылнтельные установки
0,5 – 0,6
0,7 ...0,8
Установки:
для термовакуумной обработки
0,5 – 0,7
0,7... 0,9
электронно-лучевой сварки
0,3 – 0,5
0,5 ... 0,8
имитации космического, пространства
0,5 – 1,0
0,5 ... 0,9
Ки1 – коэффициент использования высоковакуумных насосов
Ки2 - коэффициент использования низковакуумных насосов
Общий поток определяется:
Q = Qпр - Qобр = SH1 × p1,
где Qпр – прямой поток газа; Qобр – обратный поток газов.
Qпр = Sнm×p1,
где Sнm- max быстрота действия откачки насоса при р1 = рпр.
Если p1 = pпр, то Q = 0 и тогда
Qпр = Qобр,
этом случае Qобр = Sнm×pпр и
и
Q = Sн1 р1 = Sнmp1 - Sнmpпр = Sнm(p1 - pпр) или
Sнр1 = Sнm(р1 - рпр)
отсюда
SH1 = Sнm , или
= . (18)
Откуда, .
Кроме того, SH1р1 = U1(p0-p1),
откуда . (19)
Учитывая что, коэффициент использования насоса , имеем
p1 = kИ1p0
Подставляя р1 в значение максимальной быстроты действия насоса,
имеем . (20)
Итак, .
По результату вычисления выбираем из справочника насос, обеспечивающий Sm1, выписываем параметры.
2. Находим Sэф2 , определяем Ки2 и рассчитываем Sm2 , подбираем насос, выписываем его параметры.
3.Определение конструктивных размеров трубопроводов и выбор элементов вакуумной схемы.
3.1.Рассчитываем полную проводимость вакуумпровода от откачиваемого объема до первого насоса (или между двумя последовательно соединенными насосами)
Т.к. , то
,
Или ки1Sн + ки1U01 = U01, откуда
. (21)
далее см. Розанов Л.Н. «Вакуумная техника», § 10.6, § 10.7
4. Распределение давления по участкам вакуумной системы
см. Розанов § 9.10
5. График проверки совместимости работы насосов
Т.к.
SH1 = Sнm .
Если р1 =рпр , то
Sн1 = 0.
Если р1 >> рпр, то
Sн1 Sнm.
SQ =Q/р1 – кривая общего газовыделения или натекания,
где Q - газовая нагрузка, рассчитанная для каждого отдельного случая.
По гафическим характеристикам насосов строятся их эффективные быстроты откачки. Для первого насоса в откачиваемом объекте, для второго на выходе первого насоса.
Точки пересечения этих кривых с кривой общего газовыделения определяют рабочие давления насосов рраб1 и рраб2.
Совместимость работы насосов возможна, если рраб2 < ррабmax1. Для случая кривой быстроты откачки SQ' рраб2' > ррабmax1, следовательно, второй насос не обеспечивает небходимое разрежение на выходе первого насоса, совместимость работы невозможна.
6. Привести подробный порядок включения и выключения рассчитанной вакуумной установки.
Методическая литература:
1. Б.И.Королев, В.И.Кузнецов, А.И.Пипко, В.Я.Плисковский Основы вакуумной техники. – М.: «Энергия», 1975.-415с.