В этих транзисторах затвор отделен от полупроводника тонким слоем диэлектрика (0,1-0,2 мкм), в качестве которого чаще всего используется диоксид кремния (МОП-транзисторы). Аббревиатуры МДП и МОП показывают чередование слоев затвора: металл – диэлектрик – полупроводник и металл – оксид – полупроводник
Устройство МДП-транзистора с индуцированным n-каналом показано на рис.26а. На кремниевой подложке p-типа созданы сильно легированные области истока и стока n+-типа на расстоянии L. В исходном состоянии канал отсутствует и между этими областями нет проводимости, т.к. их разделяет два встречно включенных p-n-перехода (заштрихованные области на рис.26а). Подложка обычно соединяется с истоком, но может иметь также отдельный вывод, как показано на рис.22в, и служить вторым управляющим электродом.
При подаче положительного напряжения на затвор под ним образуется слой, обедненный дырками, и с увеличением напряжения толщина этого слоя возрастает. Электроны при этом притягиваются к поверхности и их поверхностная концентрация ns растет. При некотором значении UЗИ, которое называется пороговым UПОР, поверхностные концентрации электронов и дырок выравниваются ns=ps=ni. При UЗИ>UПОРпроисходит инверсия проводимости и под затвором образуется тонкий слой, в котором основными носителями становятся электроны – образуется канал, соединяющий области стока и истока. С увеличением напряжения UЗИрастет заряд электронов притянутых к поверхности, проводимость канала увеличивается. Этот заряд сосредоточен в очень тонком слое, толщиной 1-2нм. При подаче на сток напряжения (UCИ>0) в канале возникает ток IС и вдоль канала появляется падение напряжения U(x), величина которого зависит от расстояния x до истока. При этом между затвором и каналом будет действовать уже разность напряжений UЗИ– U(x), и плотность поверхностного заряда уменьшается по направлению к стоку. С увеличением напряжения UCИ растет ток стока и одновременно падает плотность поверхностного заряда на выходе канала. При UСИ =UНАС разность UЗИ – UСИ= UПОР, плотность заряда на выходе обращается в ноль и канал перекрывается, ток достигает максимального значения. Таким образом,
UНАС= UЗИ –UПОР (61)
При дальнейшем увеличении UCИ все избыточное напряжение UСИ -UНАС падает на перекрытом участке, ток практически не изменяется, длина перекрытого участка ΔL при этом увеличивается и длина канала несколько уменьшается (рис.26б).
В транзисторах со встроенным каналом канал существует в исходном состоянии, и они могут работать при разной полярности UЗИ при UЗИ>-UПОР= UОТС.
Устройство и принцип действия транзисторов с p-каналом аналогичны, лишь тип проводимости областей на рис.26 и полярность прикладываемых напряжений меняется на противоположный.
Вольтамперные характеристики МДП-транзисторов.
В МДП-транзисторах канал образован избыточными носителями, заряд которых не скомпенсирован. Плотность поверхностного заряда Qs можно считать равным нулю при UЗИ=UПОР. При UСИ=0
Qs=C0(UЗИ-UПОР),
где C0=εε0/d – удельная емкость затвора (d – толщина диэлектрика).
При 0<UСИ<UНАС Qs=C0(UЗИ-UПОР- U(x))
Ток стока пропорционален напряженности поля E(x):
IC= –μsQsWE(x)= μsWC0(UЗИ-UПОР- U(x)) dU /dx,
где μs - поверхностная подвижность носителей (μs меньше объемной подвижности μ), W – ширина канала. Интегрируя это уравнение в пределах 0≤x≤L, 0≤U≤UСИ получаем
(UСИ≤UНАС), (62)
где – удельная крутизна.
Начальные крутые участки ВАХ используются в ключевых (импульсных) схемах. При UСИ<<UЗИ–UПОР можно пренебречь квадратичным членом в выражении (62) и получить линейную зависимость:
IС=b(UЗИ – UПОР)UСИ
Коэффициент при UСИназывается проводимостью канала, а обратная величина – сопротивлением канала:
(63)
При UСИ≥UНАС подставляя (61) в (62), получаем
(64)
На рис.27а показано типичное семейство выходных характеристик МДП-транзисторов с индуцированным и встроенным каналом, раличающихся лишь значением порогового напряжения (1В и –3В).
Штриховая линия на рис.27а отделяет крутую область от пологой. Значения UЗИ, приведенные в скобках, соответствуют транзистору со встроенным каналом. Из начала координат характеристики выходят с разным наклоном, тангенс угла наклона в соответствии с формулой (62) пропорционален UЗИ–UПОР. В пологой области ВАХ неэквидистантны - с ростом UЗИ растет приращение тока стока при одинаковом шаге UЗИ в соответствии с формулой (64). Наклон характеристик в пологой области объясняется уменьшением сопротивления канала при расширении перекрытой части.
Передаточные (стоко-затворные) характеристики транзисторов с индуцированным и встроенным каналом для области насыщения показаны на рис.27б. Они совпадают по форме, но сдвинуты по оси UЗИ на разность пороговых напряжений.