Вода входит в состав окружающего воздуха и является необходимым компонентом для всех живых существ: людей и животных. Комфортность окружающих условий определяется, в основном, двумя факторами: относительной влажностью и температурой. Вы можете себя чувствовать вполне комфортно при температуре -30°С в Сибири, где зимой воздух обычно очень сухой, но Вам будет совсем неуютно при температуре 0°С в Кливленде, расположенном на берегу озера, где очень влажно. (Естественно, что здесь учитываются только климатические факторы и не рассматриваются экономические, культурные и политические). Работа многих устройств (высокоимпедансных электронных схем, электростатических чувствительных элементов, высоковольтных приборов и т.д.) также сильно зависит от уровня влажности. Как правило, все характеристики приборов определяются при относительной влажности 50% и температуре 20-25°С. Рекомендуется поддерживать такие же условия и в рабочих помещениях (правда, здесь существуют исключения: например, в производственных комнатах Класса А влажность должна быть 38%, а в больничных операционных - 60%. Влага входит в состав большинства выпускаемых изделий и материалов. Можно сказать, что большую часть валового национального продукта любой страны составляет вода [1].
Для измерения влажности используются приборы, называемые гигрометрами. Первый гигрометр был создан Джоном Лесли (1760-1832) [2]. Чувствительный элемент гигрометра должен избирательно реагировать на изменение концентрации воды. Его реакцией может быть изменение внутренних свойств. Датчики для измерения влажности и температуры точки росы бывают емкостными, электропроводными, вибрационными и оптическими. Оптические газовые датчики определяют точку росы, в то время как оптические гигрометры измеряют содержание воды в органических растворах по поглощению излучения ближнего ИК диапазона в интервале 1.9...2.7 мкм [3] (см. рис. 14.18 главы 14).
Для количественного определения влажности и содержания воды применяются разные единицы. Влажность газов в системе СИ иногда выражается как количество паров воды в одном кубическом метре (г/м3). Содержание воды в жидкостях и твердых телах обычно задается в процентах от общей массы. Содержание воды в плохо смешиваемых жидкостях определяется как количество частей воды на миллион частей веса (ррm).
Приведем несколько полезных определений:
Влага - это количество воды, содержащееся в жидкости или твердом теле, которое может быть удалено без изменения химических свойств вещества.
Удельная влажность r — это масса паров воды на единицу массы сухого газа.
Абсолютная влажность (массовая концентрация или плотность паров воды) - это масса паров воды т на единицу объема влажного газа v: dw=m/v. Другими словами, абсолютная влажность — это плотность водяных паров. Для ее определения известное количество газа, например, воздуха, пропускается через влагопоглощающий материал (такой как силикагель), который взвешивается до и после этой процедуры. Абсолютная влажность выражается в г/м3. Поскольку на результаты таких измерений оказывает влияние атмосферное давление, они редко используются в инженерной практике
Относительная влажность Н— это отношение давления паров воды в воздухе Pw, измеренное при некоторой температуре (парциальное давление), к максимальному давлению насыщенного пара Р при той же температуре. Относительная влажность (RH) всегда определяется в процентах:
(13.1)
Величина H выражает содержание пара в виде процента от концентрации водяных паров, при которой происходит его насыщение (т.е. образование капель воды (росы) при заданной температуре). Существует еще одно определение RH: относительная влажность — это отношение мольной доли паров воды в заданном объеме к мольной доле насыщенных водяных паров в том же объеме. Сумма парциальных давлений влажного Рwи сухого воздуха Рaравна давлению в замкнутом объеме или атмосферному давлению Рatm, если этот объем незамкнут:
(13.2)
При температуре выше точки кипения пары воды вытесняют все остальные газы из заданного объема. Тогда вся атмосфера состоит только из перегретого пара. В этом случае, Рw=Рatm. При температурах , больших 100°С, Рsвсегда выше Ратм, и максимальная относительная влажность никогда не может достичь 100%. При нормальном атмосферном давлении и температуре 100°С, максимальная относительная влажность равна 100%, в то время как при температуре 200°С она составляет только 6%. При температуре выше 374°С давление насыщенных паров термодинамически не определено.
Точка росы — это температура, при которой парциальное давление водяных паров становится максимальным, что соответствует состоянию насыщения пара, при котором пар и жидкая фаза воды находятся в равновесии. Точка росы - это температура, при которой относительная влажность воздуха равна 100%. Другими словами, точка росы определяет температуру воздуха, при которой он обладает максимальной влажностью. При охлаждении воздуха до точки росы, он становится насыщенным, что может привести к появлению тумана, росы или инея.
Точку замерзания можно определить как температуру, при которой при изобарическом охлаждении смеси газа и водяных паров (при постоянном давлении) образуется иней или лед (минуя стадию конденсации).
Используя следующие уравнения [4], можно определить температуру точки росы (DP) по величине относительной влажности и температуре. Все температуры должны быть выражены в °С. Давление насыщенных паров над поверхностью воды находится при помощи выражения:
(13.3)
Тогда точка росы определяется по аппроксимационной формуле:
(13 4)
где
Относительная влажность обратно пропорциональна температуре Точка росы обычно определяется при помощи холодного зеркала. Однако при температуре точки росы ниже 0°С такие измерения становятся неточными, поскольку вода замерзает, что ведет к медленному образованию кристаллической решетки, напоминающей снежинку. Тем не менее при температурах ниже нуля вода еще длительное время может находиться в жидкой фазе. Это время зависит от перемешивания состава, скорости конвекции, температуры газа, загрязнения и т.д
Таблица 13.1. <
Этносительная
влажность насыщенных растворов солей
температура
(LiCI,H20)
(МдСl,6Н20)
(Mg(N03)2,
6Н20)
(NaCI, 6H20)
k2so4
33 6±0 3
75 7±0 3
98 5±0 9
335+0 2
75 7±0 2
982±0 8
333+0 2
756±0 2
979±0 6
331±0 2
755±0 1
976±0 5
п.з±о.з
32.8±0.3
75.3 ±0.1
97.3±0.5
11 3±0 2
324±0 1
751+0 1
970±0 4
1 1 3±0 2
321±0 1
749±0 1
967±0 4
112+0 2
316±0 1
747±0 1
964±0 4
112+0 2
31 1±0 1
_
745±0 2
961±0 4
11 1+0 2
305±0 1
746±0 9
958+0 5
110+0 2
299±0 2
_
74 5±0 9
_
Емкостные датчики
Конденсаторы с воздушным зазором могут использоваться как датчики относительной влажности, поскольку от количества водяных паров в атмосфере зависит диэлектрическая проницаемость воздуха [5]:
(13 5)
где Т— абсолютная температура (в Кельвинах), Р — давление влажного воздуха (в мм рт.ст.), Рs — давление насыщенных водяных паров при температуре Т ( в мм рт.ст.), Н — относительная влажность (в %). Из уравнения (13.5) видно, что диэлектрическая проницаемость влажного воздуха, а значит и его емкость, пропорциональны относительной влажности.
Пространство между пластинами конденсатора может быть заполнено не воздухом, а соответствующим диэлектрическим материалом, проницаемость которого сильно зависит от влажности окружающей среды. Например, существуют емкостные датчики, сформированные на основе гигроскопической полимерной пленки с нанесенными с двух сторон металлическими электродами. В работе [6] приведено описание такого датчика, реализованного на основе гидрофильной полимерной пленки толщиной 8... 12 мкм, изготовленной из ацетобутирата целлюлозы и диметилфталата, используемого в качестве пластификатора. Размеры пленочного датчика составляют 12x12 мм. Методом осаждения в вакуумной камере на полимер наносятся электроды из пористого золота (толщиной 200А) в форме диска диаметром 8 мм. Пленка подвешивается на специальных держателях, а электроды соединяются с выводами. Емкость такого датчика почти пропорциональна относительной влажности Н:
(13.6)
где С0 — емкость при H=0.
На рис. 13.1 показана схема, позволяющая при помощи емкостного датчика измерять относительную влажность воздуха в диапазоне 5...90% с точностью 2%, а на рис. 13.2 приведены передаточные характеристики датчика и интерфейсной схемы. Номинальная емкость датчика при 75% RH составляет 500 пФ. Он обладает квазилинейной передаточной функцией со смещением при нулевой влажности, равным 370 пФ, и наклоном 1.7пФ/%RН. Показанная на рисунке схема выполняет две функции: преобразует емкость в напряжение и компенсирует емкость
Рис. 13.1. Упрощенная схема измерения влажности при помощи емкостного датчика [6]
Рис. 13.2.Передаточная функция емкостного датчика и системы
смещения для получения нулевого выходного напряжения при нулевом уровне RH. Основной частью схемы является аналоговый ключ LT1043 с автосинхронизацией, подключающий несколько конденсаторов к точке суммирования — на вход ОУ U1, (эта точка иногда называется виртуальной землей). Конденсатор С1 используется для компенсации емкости смещения, а конденсатор С2включается последовательно с емкостным датчиком S1. Среднее напряжение на датчике должно быть равно нулю, в противном случае электрохимические процессы могут вывести его из строя. Неполярный конденсатор С2защищает датчик от статического электричества. Переменный резистор P2регулирует величину тока, поступающего на датчик, а P1, подстраивает ток смещения. Конденсатор С3стоящий в цепи ОС, используется для интегрирования результирующего заряда, а конденсатор С, поддерживает уровень выходного напряжения неизменным во время отсоединения точки суммирования ОУ от датчика.
Рис. 13.3.Емкостная система измерения влажности
Такой же подход может быть использован для определения содержания влаги в образцах различных материалов [7]. На рис. 13.3 показана схема емкостной системы измерений, где изменение диэлектрической проницаемости образца приводит к изменению частоты генератора. Этот метод измерения влажности широко применяется в системах контроля фармацевтической продукции. Диэлектрическая проницаемость большинства медицинских таблеток по сравнению с водой (рис. 3.7 главы 3) достаточно низкая (2...5). Образец исследуемого материала помещается между двумя пластинами, формирующими конденсатор, подсоединенный к LC-колебательному контуру. Счетчик измеряет частоту, по которой определяется величина влажности. Для уменьшения влияния таких параметров окружающей среды, как температура и атмосферная влажность, рекомендуется использовать дифференциальные датчики. В этом случае определяется разность частот Df = f0 – f1где f0 — частота, измеренная при пустом контейнере, a f1— частота, измеренная с контейнером, заполненным исследуемым материалом. Этот метод имеет ряд ограничений: он весьма неточен при влажности ниже 0.5%; образец должен быть очищен от посторонних частиц с относительно высокой диэлектрической проницаемостью (например, от металла и пластика), а также геометрия образца не должна меняться во время проведения эксперимента.
(А)
(Б)
Рис. 13.4. Емкостной тонкопленочный датчик влажности: А - гребенчатые электроды, формирующие пластины конденсатора, Б — поперечное сечение датчика
Тонкопленочный емкостной датчик влажности может быть изготовлен на кремниевой подложке [8]. Для этого на кремниевой подложке n-типа выращивается слой Si02 толщиной 3000А(рис. 13.4Б), а на него наносятся два электрода из алюминия, хрома или легированного фосфором поликремния, для чего применяется метод осаждения из газовой фазы, проводимый при низком давлении (LPCVD). Толщина электродов, имеющих гребенчатую форму (рис. 13.4А), лежит в пределах 2000...5000 А. Для обеспечения дополнительной компенсации изменения окружающей температуры на той же самой подложке формируются два термочувствительных резистора. На верхнюю часть датчика наносится диэлектрический слой толщиной 300...4000А , для получения которого могут использоваться разные материалы, например, химически осажденные из газовой фазы Si02 или фосфорное силикатное стекло.
На рис. 13.5 показана упрощенная эквивалентная схема тонкопленочного датчика влажности. Каждый компонент схемы является элементом RС-линии передач [9]. При увеличении относительной влажности распределение сопротивления поверхности уменьшается, а эквивалентная емкость между выводами 1 и 2 возрастает. Величина емкости зависит от частоты. Следовательно, при измерении низких значений влажности частота должна быть порядка 100 Гц, в то время как для высоких величин влажности, ее надо выбирать в пределах 1...10 кГц.